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Configuration Of LMS
LGD 使用认可
认可:2019年5月
构成:65” Pilot Line
(物流(直线, 交叉, Return), Pallet 10ea )
LGC 使用认可
认可:2019年11月
构成:高速移动物流((Package Line适用)
820mm Stroke 1Pitch, Half Pitch
实现 位置精密度 高速,精确 (± 5㎛)
Advance
变速 Sputtering 物流
- 要求式样:低速, 变速,加减速要求
非接触式电源供应SYSTEM 适用
- 工程搬送 SYSTEM , STOCKER , 自动仓库物流 SYSTEM 等
非接触式电源供应SYSTEM
LMS