认可：2019年5月

构成：65” Pilot Line
(物流(直线, 交叉, Return), Pallet 10ea )

认可：2019年11月

构成：高速移动物流（(Package Line适用）
820mm Stroke 1Pitch, Half Pitch
实现 位置精密度 高速，精确 (± 5㎛)

变速 Sputtering 物流
- 要求式样：低速， 变速，加减速要求

非接触式电源供应SYSTEM 适用
- 工程搬送 SYSTEM , STOCKER , 自动仓库物流 SYSTEM 等